微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 鲍海飞 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 测试技术学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 原子力显微镜 修饰 多聚赖氨酸 微通道 |
| ISSN号 | 1671-7449 |
| 中文摘要 | 微机械加工制造的微悬臂梁/探针在科学研究和工业生产中有着重要的应用,作为原子力显微镜中的关键核心组件,微悬臂/探针结构在许多领域如表面特性研究和微加工等领域扮演着重要的角色.目前,尤其在生物、化学、和危险物品的检测上已经成为一个重要的平台.除了尺度测量外,当人们对表面力和原子间的相互作用力需要更准确和绝对的数值时,需要对微悬臂的弹性系数进行准确的标定,弹性系数的测量精度影响测量力学量的最终结果.本文对目前发展起来的几种标定方法,如参考悬臂梁的标定方法、悬臂梁的共振法和悬臂梁的热噪声振动法,从原理上和试验上 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50911]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲍海飞,李昕欣,王跃林. 微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析[J]. 测试技术学报,2006(01). |
| APA | 鲍海飞,李昕欣,&王跃林.(2006).微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析.测试技术学报(01). |
| MLA | 鲍海飞,et al."微悬臂梁法向弹性系数的标定方法与分析".测试技术学报 .01(2006). |
入库方式： OAI收割
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