基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姜涛 ; 王安麟 ; 刘广军 ; 张颖 ; 焦继伟 |
| 刊名 | 上海交通大学学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 11 |
| 关键词 | 微电子机械系统(MEMS) 光学电流传感器(OCS) 绝缘体上的Si(SOI) 扭转微镜 温度补偿 |
| ISSN号 | 1006-2467 |
| 中文摘要 | 以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺固有频率变异和检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达了微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响.通过所提出的影响因子这一概念反映了微陀螺参数变异对性能变异的敏感度.在详尽分析微陀螺众多参数影响因子的基础上获得了微陀螺最为关键的5个参数.这有限关键参数的获得,不仅为微陀螺的健壮性设计提供了方向,同时也为实际微陀螺的加工控制提供了量化的参考依据. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50933]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜涛,王安麟,刘广军,等. 基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析[J]. 上海交通大学学报,2006(11). |
| APA | 姜涛,王安麟,刘广军,张颖,&焦继伟.(2006).基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析.上海交通大学学报(11). |
| MLA | 姜涛,et al."基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析".上海交通大学学报 .11(2006). |
入库方式： OAI收割
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