128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吕衍秋 ; 徐运华 ; 韩冰 ; 孔令才 ; 亢勇 ; 庄春泉 ; 吴小利 ; 张永刚 ; 龚海梅 |
| 刊名 | 红外与毫米波学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 太赫兹 量子阱探测器 探测响应率 |
| ISSN号 | 1001-9014 |
| 中文摘要 | 报道了用分子束外延(MBE)方法生长的掺杂InGaAs吸收层PIN InP/InGaAs/InP双异质结外延材料,通过干法刻蚀和湿法腐蚀相结合制作台面、硫化和聚酰亚胺钝化、电极生长等工艺,制备了128×1台面正照射InGaAs探测器阵列.测试了器件的变温I-V、响应光谱和探测率,在278K时平均峰值探测率为1.03×1012cmHz1/2W-1.实现了128元InGaAs探测器阵列与CTIA结构L128读出电路相互连,经封装后,在室温(291K)时成功测出128元响应信号.焦平面响应的不均匀性为18.3% |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50949]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕衍秋,徐运华,韩冰,等. 128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究[J]. 红外与毫米波学报,2006(05). |
| APA | 吕衍秋.,徐运华.,韩冰.,孔令才.,亢勇.,...&龚海梅.(2006).128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究.红外与毫米波学报(05). |
| MLA | 吕衍秋,et al."128×1线列InGaAs短波红外焦平面的研究".红外与毫米波学报 .05(2006). |
入库方式： OAI收割
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