新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟
文献类型:期刊论文
作者 | 刘玉菲 ; 赵本刚 ; 吴亚明 ; 王跃林 |
刊名 | 传感技术学报
![]() |
出版日期 | 2006 |
期号 | 05 |
关键词 | 无线传感网 链路级 能量有效策略 信道接入 OPNET |
ISSN号 | 1004-1699 |
中文摘要 | 提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Mat-lab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT. |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2012-01-06 |
源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50971] ![]() |
专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘玉菲,赵本刚,吴亚明,等. 新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟[J]. 传感技术学报,2006(05). |
APA | 刘玉菲,赵本刚,吴亚明,&王跃林.(2006).新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟.传感技术学报(05). |
MLA | 刘玉菲,et al."新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟".传感技术学报 .05(2006). |
入库方式: OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。