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新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟

文献类型:期刊论文

作者刘玉菲 ; 赵本刚 ; 吴亚明 ; 王跃林
刊名传感技术学报
出版日期2006
期号05
关键词无线传感网 链路级 能量有效策略 信道接入 OPNET
ISSN号1004-1699
中文摘要提出了一种用于微弱磁场检测的新型MOEMS磁场传感器结构,包括MEMS微扭转敏感结构、磁性敏感薄膜和光学检测部分.文中分析了器件的磁敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数、模态分析和综合设计考虑,并利用Mat-lab进行了解析计算,通过ANSYS进行了模拟仿真分析.分析结果表明:通过双光纤准直器和光电探测器监测微扭转镜面的扭转,该器件可以实现60nT的磁场探测,其探测灵敏度可以达到0.6dB/μT.
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/50971]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
刘玉菲,赵本刚,吴亚明,等. 新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟[J]. 传感技术学报,2006(05).
APA 刘玉菲,赵本刚,吴亚明,&王跃林.(2006).新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟.传感技术学报(05).
MLA 刘玉菲,et al."新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟".传感技术学报 .05(2006).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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