基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许宝建 ; 金庆辉 ; 赵建龙 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 动态称量 加速传感器 位移 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 采用光刻胶SU-8的光刻成型技术和“多次光刻、一次显影”工艺制备了基于三层SU-8结构的微喷阵列芯片,重点研究了SU-8胶工艺过程中平整度、温度和曝光剂量对多层微结构的影响,解决了芯片结构有裂纹、发生破裂和喷孔堵塞等问题。利用O2等离子体处理了芯片微管道内表面,使液体样品在进样后能够进行自动传输、分配和贮存。持续10ms的10kPa气压驱动下,该芯片可以在3.4mm×3.4mm的尼龙膜上制成5×5样品微阵列,25个点直径平均值为384μm,变异系数为2.6%。利用该芯片制成的DNA微阵列的信号强度变异系数 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51021]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许宝建,金庆辉,赵建龙. 基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究[J]. 功能材料与器件学报,2006(05). |
| APA | 许宝建,金庆辉,&赵建龙.(2006).基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究.功能材料与器件学报(05). |
| MLA | 许宝建,et al."基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究".功能材料与器件学报 .05(2006). |
入库方式： OAI收割
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