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气态源分子束外延8元In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP光伏探测器阵列

文献类型:期刊论文

作者田招兵 ; 张永刚 ; 李爱珍 ; 顾溢
刊名半导体光电
出版日期2006
期号05
关键词热分析 CFD 超级计算机 机箱 传导和对流 优化
ISSN号1001-5868
中文摘要采用气态源分子束外延(GSMBE)生长技术结合常规半导体工艺制成了正进光台面型8元In0.53Ga0.47As/InP光伏探测器阵列,并对其特性进行了测量,结果表明GSMBE生长的材料具有很好的均匀性。探测器阵列在室温下具有良好的性能,在-10 mV反偏下探测器的暗电流约173 pA,单元间的相对标准差为1.3%;器件的峰值探测率为4.7×1011cm.Hz1/2/W,单元间的相对标准差为0.9%。
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51037]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
田招兵,张永刚,李爱珍,等. 气态源分子束外延8元In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP光伏探测器阵列[J]. 半导体光电,2006(05).
APA 田招兵,张永刚,李爱珍,&顾溢.(2006).气态源分子束外延8元In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP光伏探测器阵列.半导体光电(05).
MLA 田招兵,et al."气态源分子束外延8元In_(0.53)Ga_(0.47)As/InP光伏探测器阵列".半导体光电 .05(2006).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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