DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李新 ; 唐祯安 ; 徐军 ; 鲍海飞 |
| 刊名 | 大连理工大学学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 16SrDNA 微阵列芯片 牙周致病菌 |
| ISSN号 | 1000-8608 |
| 中文摘要 | 介绍了微机电系统(M EM S)中存在的黏附问题,对引起黏附的原因和如何解决黏附问题进行了分析.采用牺牲层腐蚀技术在多晶硅悬臂梁下表面制备类金刚石(DLC)膜,通过扫描电子显微镜(SEM)表征未发生黏附的悬臂梁最长长度.发现衬底上有DLC膜时,未发生黏附的悬臂梁最长长度平均约为145μm;而无DLC膜时,平均不到80μm.利用原子力显微镜(AFM)测得DLC膜表面的黏附力在7 nN左右,而硅衬底表面的黏附力大约为20 nN.实验结果表明DLC膜降低了悬臂梁与衬底之间的毛细引力和固体间黏附力,减轻了多晶硅悬 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51053]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李新,唐祯安,徐军,等. DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究[J]. 大连理工大学学报,2006(03). |
| APA | 李新,唐祯安,徐军,&鲍海飞.(2006).DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究.大连理工大学学报(03). |
| MLA | 李新,et al."DLC膜用于解决MEMS黏附问题研究".大连理工大学学报 .03(2006). |
入库方式： OAI收割
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