高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘剑 ; 李昕欣 ; 金大重 ; 刘民 ; 王跃林 ; 左国民 ; 余海涛 ; 包菡涵 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | 硅纳米线 MEMS技术 表面吸附 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 开发了一种在空气中具有几十飞克质量分辨率的谐振式微机械悬臂梁生化质量检测传感器.在悬臂梁上面实现了使用惠斯通压阻电桥检测和洛伦兹力线圈驱动集成结构.与通常的一阶模态谐振传感器不同,为了显著提高传感器特异性反应吸附质量以实现分子水平的检测分辨率,提出了一种二阶弯曲谐振模态优化驱动的方法.在悬臂梁上集成了一种回形针状的驱动电流回路,实现了与第二模态悬臂梁运动两个相反运动峰值相吻合的两处同时反方向驱动.研究中采用硅微机械技术实现了集成谐振悬臂梁的制作,并研制出了高性能的谐振传感器闭环接口电路.在空气中进行谐振实 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51060]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘剑,李昕欣,金大重,等. 高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器[J]. 半导体学报,2006(08). |
| APA | 刘剑.,李昕欣.,金大重.,刘民.,王跃林.,...&包菡涵.(2006).高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器.半导体学报(08). |
| MLA | 刘剑,et al."高阶谐振模态的超高质量分辨硅微悬臂梁压阻传感器".半导体学报 .08(2006). |
入库方式： OAI收割
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