银离子掺杂TiO_2薄膜的物理性能研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘恩庆 ; 王向晖 ; 胡石琼 ; 陈静 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 06 |
| 关键词 | 微机械陀螺 影响系数 随机参数 固有频率 离差系数 摄动法 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 不同剂量的银离子被注入到采用反应磁控溅射(RMS)制备出的TiO2薄膜中。实验发现,薄膜的成分以二氧化钛和单质银为主,薄膜中可以看到银的纳米晶颗粒。注入的银离子在薄膜中呈近高斯分布,分布峰随注入剂量的增加而向表层移动。银离子注入后原本致密平整的TiO2薄膜表面出现了沟壑和晶粒粗化现象,且均方根粗糙度随注入剂量的增加而增加。不同的注入剂量对薄膜的表面能没有明显的影响。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51086]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘恩庆,王向晖,胡石琼,等. 银离子掺杂TiO_2薄膜的物理性能研究[J]. 功能材料与器件学报,2006(06). |
| APA | 刘恩庆,王向晖,胡石琼,&陈静.(2006).银离子掺杂TiO_2薄膜的物理性能研究.功能材料与器件学报(06). |
| MLA | 刘恩庆,et al."银离子掺杂TiO_2薄膜的物理性能研究".功能材料与器件学报 .06(2006). |
入库方式： OAI收割
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