基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘广军 ; 王安麟 ; 姜涛 ; 焦继伟 ; 张正福 |
| 刊名 | 机械工程学报
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| 出版日期 | 2006 |
| 期号 | 09 |
| 关键词 | 可制造性设计 光刻规则检查 光学邻近效应修正 设计规则 制程窗口 |
| ISSN号 | 0577-6686 |
| 中文摘要 | 为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型,解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题,以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,利用多自由度动态有限元解析理论,提出基于子结构模型的检测电容解析法,实现微陀螺实际工作状态的模拟,并对模拟结果进行试验验证。从实例解析出发,发现微陀螺加工缺陷和工艺误差虽然对其结构固频特性影响不大,但是对其最终输出的电容检测特性具有较大影响这一重要现象。解析方法和结果在提高微机械陀螺解析精度和解析效率的基础上,对多物理场耦合工作环境下音叉振动式微机械陀螺健壮性能 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51094]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘广军,王安麟,姜涛,等. 基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法[J]. 机械工程学报,2006(09). |
| APA | 刘广军,王安麟,姜涛,焦继伟,&张正福.(2006).基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法.机械工程学报(09). |
| MLA | 刘广军,et al."基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法".机械工程学报 .09(2006). |
入库方式： OAI收割
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