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一种新型数字式加速度传感器原理与设计

文献类型:期刊论文

作者庞洁 ; Lukasz Pakula ; Paddy French ; 杨恒 ; 王跃林
刊名传感技术学报
出版日期2007
期号09
关键词锂离子动力电池 能量密度 充放电特性
ISSN号1004-1699
中文摘要建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论分析表明,质量块在两个检测电极之间的吸合时间差ΔT与加速度成正比关系,通过检测ΔT的变化即可检测加速度,其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当.设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器,芯片有效面积仅为0.03mm2,模拟结果显示,工作电压为8V,加速度为1gn时,吸合时间的变化
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51153]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
庞洁,Lukasz Pakula,Paddy French,等. 一种新型数字式加速度传感器原理与设计[J]. 传感技术学报,2007(09).
APA 庞洁,Lukasz Pakula,Paddy French,杨恒,&王跃林.(2007).一种新型数字式加速度传感器原理与设计.传感技术学报(09).
MLA 庞洁,et al."一种新型数字式加速度传感器原理与设计".传感技术学报 .09(2007).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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