基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 段飞 ; 焦继伟 ; 王育才 ; 张颖 ; 宓斌玮 ; 李金鹏 ; 钱清 ; 王跃林 |
| 刊名 | 半导体学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | 地高辛 荧光素 生物素 显色法 芯片 结核分支杆菌 利福平 异烟肼 耐药基因 |
| ISSN号 | 0253-4177 |
| 中文摘要 | 设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51171]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段飞,焦继伟,王育才,等. 基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺[J]. 半导体学报,2007(10). |
| APA | 段飞.,焦继伟.,王育才.,张颖.,宓斌玮.,...&王跃林.(2007).基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺.半导体学报(10). |
| MLA | 段飞,et al."基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺".半导体学报 .10(2007). |
入库方式： OAI收割
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