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用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器

文献类型:期刊论文

作者李鹏 ; 李昕欣 ; 王跃林
刊名传感技术学报
出版日期2007
期号10
关键词氢镍电池组 电动自行车 容量 循环寿命
ISSN号1004-1699
中文摘要文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法,并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段,验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2+/巯基十一酸单分子自组装层修饰的微悬臂梁传感器可以对甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体进行快速响应,最小检测浓度可达数ppb(×10-9).
语种中文
公开日期2012-01-06
源URL[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51177]  
专题上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文
推荐引用方式
GB/T 7714
李鹏,李昕欣,王跃林. 用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器[J]. 传感技术学报,2007(10).
APA 李鹏,李昕欣,&王跃林.(2007).用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器.传感技术学报(10).
MLA 李鹏,et al."用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器".传感技术学报 .10(2007).

入库方式: OAI收割

来源:上海微系统与信息技术研究所

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