几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许科峰 ; 于海涛 ; 杨永亮 ; 杨恒 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 09 |
| 关键词 | 星基 空间飞行器 探测 概率 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 特征尺度在纳米量级的梁结构是多种纳机电器件的基本结构.提出了几种基于MEMS技术的纳米梁制作方法,通过利用MEMS技术中材料与工艺的特性实现单晶硅纳米梁的制作.在普通(111)硅片上,利用各向异性湿法腐蚀对(111)面腐蚀速率极低的特性,通过干法与湿法腐蚀相结合制成厚度在100nm以下的纳米梁.该方法不使用SOI硅片,有效控制了成本.在(100)SOI硅片上,通过氧化减薄的方法得到厚度在100nm以下的多种纳米梁,由于热氧化的精度高,一致性好,该方法重复性与一致性均较好.在(110)SOI硅片上,利用硅的 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51181]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许科峰,于海涛,杨永亮,等. 几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究[J]. 传感技术学报,2007(09). |
| APA | 许科峰,于海涛,杨永亮,杨恒,李昕欣,&王跃林.(2007).几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究.传感技术学报(09). |
| MLA | 许科峰,et al."几种基于MEMS的纳米梁制作方法研究".传感技术学报 .09(2007). |
入库方式： OAI收割
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