基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王慧泉 ; 郑阳明 ; 金仲和 ; 马慧莲 ; 李铁 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | 车辆检测 视频检测 车辆跟踪 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 介绍一种硅纳米线制作方法.在SOI顶层硅上制作硅纳米梁,通过离子注入形成pnp结构,利用新发现的没有特殊光照时BOE溶液腐蚀pn结n型区域现象,结合BOE溶液氧化硅腐蚀,实现硅纳米线制作.制作完全采用传统MEMS工艺,具有工艺简单,成本低,可控,可靠性好,可批量制作等优点.利用该方法制作出了厚50nm,宽100nm的单晶硅纳米线,制作的纳米线可用于一维纳米结构电学性能研究、谐振器研究等. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51187]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王慧泉,郑阳明,金仲和,等. 基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作[J]. 传感技术学报,2007(10). |
| APA | 王慧泉,郑阳明,金仲和,马慧莲,李铁,&王跃林.(2007).基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作.传感技术学报(10). |
| MLA | 王慧泉,et al."基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作".传感技术学报 .10(2007). |
入库方式： OAI收割
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