极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴浩 ; 车录锋 ; 王俊杰 ; 王跃林 |
| 刊名 | 机械强度
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 垂直腔面发射激光器 欧姆接触 比接触电阻 快速退火 |
| ISSN号 | 1001-9669 |
| 中文摘要 | 根据梳齿式电容加速度传感器极板不平行对传感器静电力和阻尼力的影响,建立有阻尼力反馈微加速度传感器的等效电学模型。通过电学模拟,分析不同阻尼情况下由工艺原因引起的电容极板不平行对传感器可靠工作范围的影响。结果表明,当传感器受阶跃信号的冲击时,可靠工作范围随极板倾斜程度的增大而减小,并且模拟结果还表明,在欠阻尼情况下传感器的可靠工作范围比临界阻尼或过阻尼情况下要小。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51197]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴浩,车录锋,王俊杰,等. 极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响[J]. 机械强度,2007(05). |
| APA | 吴浩,车录锋,王俊杰,&王跃林.(2007).极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响.机械强度(05). |
| MLA | 吴浩,et al."极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响".机械强度 .05(2007). |
入库方式： OAI收割
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