微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 金大重 ; 李昕欣 ; 刘剑 ; 于海涛 ; 王跃林 ; 左国民 ; 李鹏 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | GPS 分布式 地图匹配 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频率响应悬臂梁传感器进行了具体分析.对于静态下工作的微机械悬臂梁,振幅的随机变化取决于热机械噪声.对于工作在谐振状态的微米尺度悬臂梁,在室温常压下热机械噪声是主要的噪声机制;当尺寸进一步缩小至纳米尺度时,表面效应变得显著,吸附-脱附噪声成为主要的噪声机制.基于对不同情况下噪声特性的分析,对微 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51205]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金大重,李昕欣,刘剑,等. 微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析[J]. 传感技术学报,2007(01). |
| APA | 金大重.,李昕欣.,刘剑.,于海涛.,王跃林.,...&李鹏.(2007).微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析.传感技术学报(01). |
| MLA | 金大重,et al."微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析".传感技术学报 .01(2007). |
入库方式： OAI收割
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