石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王俊杰 ; 车录锋 ; 吴浩 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感器与微系统
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 光学电流传感器 微电子机械系统 扭转微镜 温度补偿 耦合损耗 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较。根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01m/s2提高到0.001m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51292]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王俊杰,车录锋,吴浩,等. 石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究[J]. 传感器与微系统,2007(01). |
| APA | 王俊杰,车录锋,吴浩,&王跃林.(2007).石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究.传感器与微系统(01). |
| MLA | 王俊杰,et al."石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究".传感器与微系统 .01(2007). |
入库方式： OAI收割
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