基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 鲍海飞 ; 李昕欣 ; 张波 ; 郭久福 ; 韩建强 |
| 刊名 | 机械强度
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 无线传感器网络 嵌入式操作系统 综述 |
| ISSN号 | 1001-9669 |
| 中文摘要 | 原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展。基于原子力显微镜中的一个最基本的力—位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试。相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51321]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲍海飞,李昕欣,张波,等. 基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统[J]. 机械强度,2007(02). |
| APA | 鲍海飞,李昕欣,张波,郭久福,&韩建强.(2007).基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统.机械强度(02). |
| MLA | 鲍海飞,et al."基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统".机械强度 .02(2007). |
入库方式： OAI收割
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