微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨广立 ; 冯飞 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 微系统 细胞研究 细胞图形化 微加工 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 中文摘要 | 研究了具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件的机械特性对其性能的影响。通过理论计算和ANSYS模拟,分析了器件的热-机械灵敏度,对器件的结构参数进行了优化,并得到其热-机械灵敏度为2.14×10-3rad/K;从器件的频率和阻尼特性出发,研究了器件的机械特性对热振动噪声和机械稳定性能的影响。研究结果表明:绝热梁断裂所需冲击载荷为8 945 g;器件的工作气压确定在50-200 Pa时,其热机械噪声和外界机械振动引起的噪声对器件性能的影响可忽略。该器件基本满足红外成像阵列器件的高灵敏度 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51323]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨广立,冯飞,熊斌,等. 微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响[J]. 光学精密工程,2007(05). |
| APA | 杨广立,冯飞,熊斌,&王跃林.(2007).微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响.光学精密工程(05). |
| MLA | 杨广立,et al."微机械光读出红外成像阵列器件机械特性对其性能的影响".光学精密工程 .05(2007). |
入库方式： OAI收割
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