微机械Golay腔型红外探测器的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 高翔 ; 徐静 ; 赵本刚 ; 万助军 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 传感器与微系统
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | Ti-V基固溶体 C14 Laves相 微观结构 储氢合金 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 通过分析微机械Golay腔型红外探测器设计中影响性能的关键因素:温致压变系数、红外吸收层、阻尼噪声,提出了一种采用硅和玻璃阳极键合技术实现的新型Golay腔型红外探测器。计算其灵敏度为2 700 pF/W、噪声等效功率为8.4×10-8W/Hz1/2和响应时间为0.5m s。利用光学测量变形,可以实现探测器无电化设计,使得测量不受强电磁场和湿度的影响。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51335]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 高翔,徐静,赵本刚,等. 微机械Golay腔型红外探测器的研究[J]. 传感器与微系统,2007(03). |
| APA | 高翔,徐静,赵本刚,万助军,&吴亚明.(2007).微机械Golay腔型红外探测器的研究.传感器与微系统(03). |
| MLA | 高翔,et al."微机械Golay腔型红外探测器的研究".传感器与微系统 .03(2007). |
入库方式： OAI收割
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