基于子结构法的微机械陀螺性能解析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张正福 ; 王安麟 ; 刘广军 ; 朱灯林 ; 焦继伟 |
| 刊名 | 上海交通大学学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | CuInSe2 电沉积 两步法 薄膜 |
| ISSN号 | 1006-2467 |
| 中文摘要 | 在微机械陀螺性能健壮性设计的研究中,为了解决微陀螺性能解析的高精度和计算时间的问题,以体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺结构为研究对象,提出了基于子结构法的微结构动态性能解析法.在实现了微陀螺的高精度解析和分析的基础上,进行了微陀螺弹性梁优化设计,得到了性能优良的微陀螺弹性梁结构.通过实例解析,不仅验证了基于子结构法的微结构动态性能解析法的有效性,而且证明了其在微机械陀螺性能设计中的潜在价值. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51379]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张正福,王安麟,刘广军,等. 基于子结构法的微机械陀螺性能解析[J]. 上海交通大学学报,2007(05). |
| APA | 张正福,王安麟,刘广军,朱灯林,&焦继伟.(2007).基于子结构法的微机械陀螺性能解析.上海交通大学学报(05). |
| MLA | 张正福,et al."基于子结构法的微机械陀螺性能解析".上海交通大学学报 .05(2007). |
入库方式： OAI收割
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