基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 潘欣欣 ; 陈翔 ; 陈迪 ; 庄贵生 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 负介电常数材料 负磁导率材料 单负材料 带通滤波器 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 介绍了一种利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)的快速成型来制备模具,再进行热模压制造微流控通道结构的方法。通过在硅片上旋涂SU-8胶进行光刻显影,得到结构模版,在此模版上浇注PDMS,脱模即得到PDMS模具。将PDMS模具进行热压,成功地在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上复制了特定的微流控通道结构。相对于常规的硅微加工和UV-LIGA工艺制造热模压模具,本方法具有加工周期短、工艺简单、成本低等优点。另外,还对温度、压力、时间等热模压的主要工艺参数进行了初步的优化研究。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51382]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 潘欣欣,陈翔,陈迪,等. 基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法[J]. 微细加工技术,2007(01). |
| APA | 潘欣欣,陈翔,陈迪,&庄贵生.(2007).基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法.微细加工技术(01). |
| MLA | 潘欣欣,et al."基于PDMS模具热模压制备微流控通道结构的方法".微细加工技术 .01(2007). |
入库方式： OAI收割
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