一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨广立 ; 冯飞 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 半导体光电
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| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 微型质子交换膜燃料电池 阴极结构 自呼吸 MEMS技术 |
| ISSN号 | 1001-5868 |
| 中文摘要 | 提出了一种具有“双材料梁-微镜一体化”特征结构的光读出红外成像阵列器件。该特征结构集成了红外敏感、调制和输出读出可见光信号的双重功能。通过研究相关性能,完成了像素单元尺寸的优化设计。理论计算表明,其关键性能指标的热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.14×10-3rad/K和2.94 mK。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51388]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨广立,冯飞,熊斌,等. 一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计[J]. 半导体光电,2007(03). |
| APA | 杨广立,冯飞,熊斌,&王跃林.(2007).一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计.半导体光电(03). |
| MLA | 杨广立,et al."一种非致冷光读出红外成像阵列器件的设计".半导体光电 .03(2007). |
入库方式： OAI收割
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