微机械陀螺结构形状自组织优化方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘广军 ; 王安麟 ; 姜涛 ; 焦继伟 ; 张正福 |
| 刊名 | 机械工程学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 07 |
| 关键词 | 硅微机械加工技术 三轴加速度计 压阻 高g 塑封 |
| ISSN号 | 0577-6686 |
| 中文摘要 | 以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,提出基于元胞自动机的结构形状自组织优化方法,建立自组织形状优化的局部规则和基于最终输出的性能评价方法,实现对微陀螺结构形状的优化设计。建立微陀螺的子结构模型,在满足精度的同时缩减形状优化的计算时间,并以实例解析说明方法的有效性。形状优化结果表明,微陀螺的整体性能有大幅度提高,同时能够保持品质因子Q值很高。微机械陀螺的自组织优化方法和结果在提高解析精度和解析效率的基础上,对多物理场耦合工作环境下音叉振动式微机械陀螺的解析、设计和评价具有重要的参考价值。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51431]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘广军,王安麟,姜涛,等. 微机械陀螺结构形状自组织优化方法[J]. 机械工程学报,2007(07). |
| APA | 刘广军,王安麟,姜涛,焦继伟,&张正福.(2007).微机械陀螺结构形状自组织优化方法.机械工程学报(07). |
| MLA | 刘广军,et al."微机械陀螺结构形状自组织优化方法".机械工程学报 .07(2007). |
入库方式： OAI收割
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