玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈强 ; 李刚 ; 潘爱平 ; 金庆辉 ; 赵建龙 ; 程建功 ; 徐元森 |
| 刊名 | 化学学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 17 |
| 关键词 | 类金刚石膜 原子力显微镜 纳米摩擦 等离子源离子注入 |
| ISSN号 | 0567-7351 |
| 中文摘要 | 研究了一种玻璃微流控芯片的快速、低成本制作工艺和方法.该方法采用商品化的显微载玻片(soda-lime玻璃)作为芯片基质材料,利用AZ4620光刻胶代替传统工艺中的溅射金属层或多晶硅/氮化硅层作为玻璃刻蚀的掩膜层,同时利用一种紫外光学胶键合方法代替传统熔融键合方法实现芯片的键合,整个工艺对玻璃基质材料要求低,普通微流控芯片(深度小于50μm)制作流程仅需约3.5h,可降低制作成本,缩短制作周期.还系统地研究了光刻胶厚度、光刻胶硬烘时间和玻璃腐蚀液配比对玻璃微流控芯片制作的影响,获得了优化的工艺参数. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51447]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈强,李刚,潘爱平,等. 玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究[J]. 化学学报,2007(17). |
| APA | 陈强.,李刚.,潘爱平.,金庆辉.,赵建龙.,...&徐元森.(2007).玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究.化学学报(17). |
| MLA | 陈强,et al."玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究".化学学报 .17(2007). |
入库方式： OAI收割
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