音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姜涛 ; 王安麟 ; 刘广军 ; 张颖 ; 焦继伟 |
| 刊名 | 机械工程学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | 硅纳米线 选择性腐蚀 BOE溶液 pn结 |
| ISSN号 | 0577-6686 |
| 中文摘要 | 以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响。所提出的影响因子这一概念反映了微陀螺参数变异对性能变异的敏感度。在详尽分析微陀螺众多参数的影响因子的基础上获得微陀螺5个最为关键的参数。有限关键参数的获得,不仅能为微陀螺的健壮性设计提供帮助,同时也能为实际微陀螺的加工控制提供量化的参考依据。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51455]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姜涛,王安麟,刘广军,等. 音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析[J]. 机械工程学报,2007(08). |
| APA | 姜涛,王安麟,刘广军,张颖,&焦继伟.(2007).音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析.机械工程学报(08). |
| MLA | 姜涛,et al."音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析".机械工程学报 .08(2007). |
入库方式： OAI收割
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