三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 董培涛 ; 周伟 ; 李昕欣 ; 张屯国 ; 王跃林 ; 封松林 ; 李圣怡 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | 相变存储器 测试系统 串口 PCI控制卡 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 研究了一种主要应用于碰撞测试领域的硅微机械高性能压阻式加速度计,量程范围为2 000gn.为满足技术性能要求,加速度计采用一种三梁-质量块结合梳齿阻尼器的新颖结构,从而可以同时具有高灵敏度及高动态特性(包括高谐振频率及精确阻尼控制).这种加速度计采用n型(100)普通硅片制作,主要工艺过程包括双面ICP深刻蚀和压阻集成工艺.振动台测试结果表明,加速度计的灵敏度为0.11 mV/gn/5 V,谐振频率为31 kHz,灵敏度±5%变化下平坦带宽大于5 kHz.采用落杆测试法测试了加速度计的冲击响应及0~2 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51463]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董培涛,周伟,李昕欣,等. 三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计[J]. 传感技术学报,2007(08). |
| APA | 董培涛.,周伟.,李昕欣.,张屯国.,王跃林.,...&李圣怡.(2007).三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计.传感技术学报(08). |
| MLA | 董培涛,et al."三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计".传感技术学报 .08(2007). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。