InGaAs/InAlAs异质结的H_3PO_4/H_2O_2系的湿法腐蚀
文献类型：期刊论文
| 作者 | 田招兵 ; 张永刚 ; 李爱珍 ; 顾溢 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 高分辨X射线衍射 InGaAs InAlAs 错向角 摇摆曲线 倒空间mapping |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 采用了H3PO4/H2O2系化学腐蚀液对GSMBE外延的InGaAs/InP和InA lAs/InP材料湿法腐蚀特性进行了研究,研究了不同浓度和配比对于腐蚀速率和形貌影响。结果表明该腐蚀液体系具有良好的均匀性,腐蚀速率随浓度呈指数关系,表面形貌基本不受浓度影响。在增加腐蚀液中双氧水含量时,腐蚀速率先增大后减小,表面形貌良好;增加磷酸浓度腐蚀速率亦有增大趋势,表面出现尖锥状小丘。并对腐蚀液配比变化对腐蚀特性影响及腐蚀机理进行了讨论分析。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51489]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 田招兵,张永刚,李爱珍,等. InGaAs/InAlAs异质结的H_3PO_4/H_2O_2系的湿法腐蚀[J]. 功能材料与器件学报,2008(04). |
| APA | 田招兵,张永刚,李爱珍,&顾溢.(2008).InGaAs/InAlAs异质结的H_3PO_4/H_2O_2系的湿法腐蚀.功能材料与器件学报(04). |
| MLA | 田招兵,et al."InGaAs/InAlAs异质结的H_3PO_4/H_2O_2系的湿法腐蚀".功能材料与器件学报 .04(2008). |
入库方式： OAI收割
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