基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 池积光 ; 车录锋 ; 王跃林 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | InGaAs/InAlAs 湿法腐蚀 异质结 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性腐蚀制作凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,利用塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,以及结构释放后用硅片做掩膜制作电极引线块。最后利用该工艺成功地制作出一个垂直位错梳状驱动器。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51534]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 池积光,车录锋,王跃林. 基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺[J]. 功能材料与器件学报,2008(03). |
| APA | 池积光,车录锋,&王跃林.(2008).基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 池积光,et al."基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺".功能材料与器件学报 .03(2008). |
入库方式： OAI收割
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