用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陆振华 ; 许宝建 ; 金庆辉 ; 赵建龙 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 细胞培养 玻璃 聚二甲基硅氧烷 微芯片 增殖速率 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | PDMS是制作微流控芯片的主要材料。PDMS芯片制作的主要方法是模塑法,模塑法要求有良好的塑性成型模具。SU-8以其良好的微加工特性,目前已广泛应用于微机械结构的制作,也用于PDMS塑性成型的模具。本文根据模具的特殊性,如平整、无裂纹、可多次使用等要求,研究了影响SU-8模具结构与基底材料硅片的黏附性和形成裂纹的因素,优化了SU-8微模具加工工艺,在以0.5℃/min进行升降温、210 mJ/cm2的曝光剂量、200℃条件下硬烘30min条件下得到较好的SU-8模具,提供了一种快速、复用性高、低成本的PD |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51539]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆振华,许宝建,金庆辉,等. 用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化[J]. 功能材料与器件学报,2008(03). |
| APA | 陆振华,许宝建,金庆辉,&赵建龙.(2008).用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化.功能材料与器件学报(03). |
| MLA | 陆振华,et al."用于PDMS微芯片塑性成型的SU-8模具制作工艺的优化".功能材料与器件学报 .03(2008). |
入库方式： OAI收割
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