MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曾凡林 ; 钟少龙 ; 徐静 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 传感技术学报
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 无线传感器网络 V-BLAST 发射功率分配 虚拟MIMO |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性。该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/Hz和0.28μgn/Hz。对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27μgn/Hz,光电检测在只考虑电学噪声时能分辨的最小加速度可达0.05μgn。对比得出对于扭摆式加速度计结构,光电检测具有比电容检测更小的系统总噪声。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51540]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曾凡林,钟少龙,徐静,等. MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析[J]. 传感技术学报,2008(05). |
| APA | 曾凡林,钟少龙,徐静,&吴亚明.(2008).MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析.传感技术学报(05). |
| MLA | 曾凡林,et al."MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析".传感技术学报 .05(2008). |
入库方式： OAI收割
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