单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭斌 ; 陈士清 |
| 刊名 | 电子产品世界
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 03 |
| 关键词 | 相变随机存储器 相变材料 热阻层材料 |
| ISSN号 | 1005-5517 |
| 中文摘要 | 传感器技术是信息社会的四大支柱之一,传感器和计算机结合形成的智能系统大大的拓展了人类生活的空间。在传感器家族中,根据电容的物理特性制作的传感器占有重要地位。电容传感器是很好的状态传感器,可提高电容检测,尤其是微小电容检测的精度,是目前测控技术的热点。本文重点介绍一套微小电容差分高精度检测电路,该套电路可测物体的运动加速度,加速度计的分辨率可达2-18。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51543]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭斌,陈士清. 单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统[J]. 电子产品世界,2008(03). |
| APA | 郭斌,&陈士清.(2008).单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统.电子产品世界(03). |
| MLA | 郭斌,et al."单电容式及差分电容式MEMS传感器检测系统".电子产品世界 .03(2008). |
入库方式： OAI收割
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