高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 穆参军 ; 赵本刚 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 高压器件 衬底电流 可靠性 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 扭转镜面的动态形变是影响显示成像用MEMS扫描微镜光学分辨率的主导因素,研究了高速转动的MEMS扫描微镜的动态形变特性,得到了相关有用的结论。结果表明当MEMS扫描微镜镜面几何尺寸一定时,如果要获得系统衍射极限光学分辨率,需要对转动频率,扭转角度和镜面厚度进行优化设计和选择,简单通过增加镜面厚度保证光学分辨率的方法不利于MEMS扫描微镜综合性能的改善和提高。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51551]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 穆参军,赵本刚,吴亚明. 高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究[J]. 传感技术学报,2008(04). |
| APA | 穆参军,赵本刚,&吴亚明.(2008).高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究.传感技术学报(04). |
| MLA | 穆参军,et al."高速MEMS扫描微镜动态变形特性研究".传感技术学报 .04(2008). |
入库方式： OAI收割
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