带有位移检测功能的纳米级定位平台
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王家畴 ; 荣伟彬 ; 李昕欣 ; 孙立宁 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 05 |
| 关键词 | 微电子机械系统 微加速度计 Hopkinson杆 校准 |
| ISSN号 | 1672-6030 |
| 中文摘要 | 为了解决纳米定位平台小型化、定位精度高的问题,采用体硅加工技术成功地研制了一种基于单晶硅的、带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台.介绍了定位平台的工作原理,通过理论计算和有限元模拟相结合的方法实现定位平台的结构设计.提出了一种面内侧壁压阻加工方法,成功地在定位平台上集成了压阻位移检测传感器.实验结果表明,有效驱动电压取23.68V时,定位平台最大单轴输出位移为10μm,运动平台的定位精度优于20nm;室温下压阻传感器的阻值为4.2kΩ,击穿电压为75V,在平台输出位移为10nm时,压阻器件的灵敏度( |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51731]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王家畴,荣伟彬,李昕欣,等. 带有位移检测功能的纳米级定位平台[J]. 纳米技术与精密工程,2008(05). |
| APA | 王家畴,荣伟彬,李昕欣,&孙立宁.(2008).带有位移检测功能的纳米级定位平台.纳米技术与精密工程(05). |
| MLA | 王家畴,et al."带有位移检测功能的纳米级定位平台".纳米技术与精密工程 .05(2008). |
入库方式： OAI收割
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