氢离子注入法提高InAsP/InP应变多量子阱发光特性(英文)
文献类型：期刊论文
| 作者 | 曹萌 ; 吴惠桢 ; 劳燕峰 ; 曹春芳 ; 刘成 |
| 刊名 | 红外与毫米波学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 04 |
| 关键词 | 氮化硅薄膜 SOI结构 多孔硅外延转移 |
| ISSN号 | 1001-9014 |
| 中文摘要 | 采用气态源分子束外延系统生长了InAsP/InP应变多量子阱,研究了H+注入对量子阱光致发光谱的影响以及高温快速退火对离子注入后的量子阱发光谱的影响。发现采用较低H+注入能量(剂量)时,量子阱发光强度得到增强;随着H+注入能量(剂量)的增大,量子阱发光强度随之减小。H+注入过程中,部分隧穿H+会湮灭掉量子阱结构界面缺陷,同时H+也会对量子阱结构带来损伤,两者的竞争影响量子阱发光强度的变化。高温快速退火处理后,离子注入后的量子阱样品发光峰位在低温10K相对于未注入样品发生蓝移,蓝移量随着H+注入能量或剂量的 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51778]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹萌,吴惠桢,劳燕峰,等. 氢离子注入法提高InAsP/InP应变多量子阱发光特性(英文)[J]. 红外与毫米波学报,2008(04). |
| APA | 曹萌,吴惠桢,劳燕峰,曹春芳,&刘成.(2008).氢离子注入法提高InAsP/InP应变多量子阱发光特性(英文).红外与毫米波学报(04). |
| MLA | 曹萌,et al."氢离子注入法提高InAsP/InP应变多量子阱发光特性(英文)".红外与毫米波学报 .04(2008). |
入库方式： OAI收割
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