柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴义伯 ; 邢玉梅 ; 倪鹤南 ; 徐爱兰 ; 惠春 ; 任秋实 ; 李刚 |
| 刊名 | 微细加工技术
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 缓蚀剂 聚合物阻垢剂 马来酸酐 烯丙基磺酸钠 丙烯酰胺 |
| ISSN号 | 1003-8213 |
| 中文摘要 | 采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51785]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴义伯,邢玉梅,倪鹤南,等. 柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究[J]. 微细加工技术,2008(02). |
| APA | 吴义伯.,邢玉梅.,倪鹤南.,徐爱兰.,惠春.,...&李刚.(2008).柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究.微细加工技术(02). |
| MLA | 吴义伯,et al."柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究".微细加工技术 .02(2008). |
入库方式： OAI收割
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