从MEMS到NEMS进程中的技术思考
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李昕欣 ; 夏晓媛 ; 张志祥 |
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 微机电系统 阳极键合 玻璃薄膜 电子束蒸发 键合强度 |
| ISSN号 | 1671-4776 |
| 中文摘要 | 回顾和概括了MEMS机电器件进入μm/nm尺度后解决的几个关键性问题。结合微机电器件发展的典型事例进行分析,对我国科学工作者在其中的贡献给予肯定。分析目前机电器件走向nm尺度的一些相关概念理解和需要着重研究的纳米效应问题。对机电器件从微到纳的发展趋势进行了展望。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51787]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李昕欣,夏晓媛,张志祥. 从MEMS到NEMS进程中的技术思考[J]. 微纳电子技术,2008(01). |
| APA | 李昕欣,夏晓媛,&张志祥.(2008).从MEMS到NEMS进程中的技术思考.微纳电子技术(01). |
| MLA | 李昕欣,et al."从MEMS到NEMS进程中的技术思考".微纳电子技术 .01(2008). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。