基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张正福 ; 王安麟 ; 刘广军 ; 姜涛 ; 焦继伟 |
| 刊名 | 上海交通大学学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 体硅工艺 深度反应离子刻蚀 背片技术 面内侧面压阻 纳米级定位平台 |
| ISSN号 | 1006-2467 |
| 中文摘要 | 提出了基于Taguchi三次设计的音叉振动式微机械陀螺的健壮性设计方法,即将Taguchi的三次设计方法同结构参数仿真试验的动态子结构法相结合,通过正交试验得到对系统性能敏感的关键结构变量,通过健壮性优化,获得关键结构参数组合扰动下系统性能指标变异最小的设计方案.研究结果表明,由微结构的微小尺度效应带来的加工误差的不确定、性能变异的难检测等复杂性问题,通过简单的健壮性设计修正其关键结构参数,实现极小化性能变异,即可显著提高其性能的信噪比,达到控制产品质量和性能的目的. |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51795]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张正福,王安麟,刘广军,等. 基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计[J]. 上海交通大学学报,2008(02). |
| APA | 张正福,王安麟,刘广军,姜涛,&焦继伟.(2008).基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计.上海交通大学学报(02). |
| MLA | 张正福,et al."基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计".上海交通大学学报 .02(2008). |
入库方式： OAI收割
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