基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作
文献类型：期刊论文
| 作者 | 肖素艳 ; 车录锋 ; 李昕欣 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 低轨卫星 多普勒频偏 直接序列扩频 DFT |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄膜组成的柔性薄膜结构。结合传感器结构特点及各结构层材料的加工性能,进行工艺优化整合。尤其首次在载体硅片与PI衬底之间引进PDMS分离层,使得柔性器件的分离工艺大大简化。最后得到一种简单、低廉且与常规MEMS技术兼容的工艺。所制的传感器结构轻薄,可挠性好,且能贴附在任意形状的物体表面同时实现法向力和切向力的测量。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51858]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 肖素艳,车录锋,李昕欣,等. 基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作[J]. 传感技术学报,2008(02). |
| APA | 肖素艳,车录锋,李昕欣,&王跃林.(2008).基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作.传感技术学报(02). |
| MLA | 肖素艳,et al."基于PI衬底的柔性MEMS电容式触觉力传感器设计与制作".传感技术学报 .02(2008). |
入库方式： OAI收割
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