静电计检测微位移的原理和实验
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陆德仁 ; 鲍海飞 ; 刘民 |
| 刊名 | 上海计量测试
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 高电子迁移率晶体管 太赫兹场 磁场 响应率 |
| ISSN号 | 1673-2235 |
| 中文摘要 | 该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51867]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陆德仁,鲍海飞,刘民. 静电计检测微位移的原理和实验[J]. 上海计量测试,2008(02). |
| APA | 陆德仁,鲍海飞,&刘民.(2008).静电计检测微位移的原理和实验.上海计量测试(02). |
| MLA | 陆德仁,et al."静电计检测微位移的原理和实验".上海计量测试 .02(2008). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。