压阻掺杂浓度对高g_n加速度计动态性能影响
文献类型：期刊论文
| 作者 | 杨尊先 ; 李昕欣 ; 于映 ; 林丽华 ; 陈国南 |
| 刊名 | 传感器与微系统
 |
| 出版日期 | 2008 |
| 期号 | 12 |
| 关键词 | 微机械陀螺 健壮性设计 子结构法 田口方法 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| 中文摘要 | 采用有限元方法研究在不同压阻工作温度下压阻掺杂浓度对高gn加速度计动态冲击性能的影响。结果表明:器件动态冲击响应是受迫振动与悬臂梁固有振动叠加的结果,且压阻灵敏度系数与工作温度成正比。当T<20℃时,悬臂梁固有振动明显,并且,器件动态冲击响应峰值电压随着压阻掺杂浓度升高而降低;当T在20℃附近,峰值电压随掺杂浓度变化不明显;当T>20℃时,随着温度升高,悬臂梁固有振动频率渐受压制,传感器动态冲击响应渐表现为受加速度冲击受迫振动,且峰值电压随掺杂浓度提高而增大。在1×1018~1×1021cm-3范围内,在 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51889]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨尊先,李昕欣,于映,等. 压阻掺杂浓度对高g_n加速度计动态性能影响[J]. 传感器与微系统,2008(12). |
| APA | 杨尊先,李昕欣,于映,林丽华,&陈国南.(2008).压阻掺杂浓度对高g_n加速度计动态性能影响.传感器与微系统(12). |
| MLA | 杨尊先,et al."压阻掺杂浓度对高g_n加速度计动态性能影响".传感器与微系统 .12(2008). |
入库方式： OAI收割
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