基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 张灵霖 ; 车录锋 ; 李玉芳 ; 王跃林 |
| 刊名 | 传感技术学报
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | 低噪声 微电子机械系统 相关双采样 电荷转移 惯性器件 |
| ISSN号 | 1004-1699 |
| 中文摘要 | 随着电容式加速度传感器的广泛使用,对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要。本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法——阶跃响应测试法,详细分析了其测试原理及测试结果,并与传统的静电激励扫频测试法进行了对比。结果表明:两种测试方法中等效电刚度的不同,造成了测试结果的差异。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51952]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张灵霖,车录锋,李玉芳,等. 基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究[J]. 传感技术学报,2009(10). |
| APA | 张灵霖,车录锋,李玉芳,&王跃林.(2009).基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究.传感技术学报(10). |
| MLA | 张灵霖,et al."基于阶跃响应的加速度计Q值测试方法研究".传感技术学报 .10(2009). |
入库方式： OAI收割
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