新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 鲁亮 ; 穆参军 ; 李四华 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 功能材料与器件学报
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 三维多芯片组件 埋置式基板 翘曲 有限元模拟 热机械可靠性 云纹干涉 |
| ISSN号 | 1007-4252 |
| 中文摘要 | 本文结合GLV技术设计了一种适于检测高压交流电的新型光学电流传感器。这一设计具有温度稳定性好、大电流下灵敏度高、频率响应范围宽等特点,且测量芯片制作工艺简单、成本低廉。通过有限元分析和数值计算对器件的模态、工作性能、热膨胀特性等进行了分析模拟,结果表明:测量芯片量程达500A~2000A,并可通过改变设计参数灵活调整;一阶固有频率接近60kHz,大电流下灵敏度接近0.2dB/A,外界温度变化±50K时传感器测试误差在0.7%以内。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51985]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鲁亮,穆参军,李四华,等. 新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析[J]. 功能材料与器件学报,2009(01). |
| APA | 鲁亮,穆参军,李四华,&吴亚明.(2009).新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析.功能材料与器件学报(01). |
| MLA | 鲁亮,et al."新型高灵敏度GLV光学电流传感器设计与性能分析".功能材料与器件学报 .01(2009). |
入库方式： OAI收割
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