具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制
文献类型：期刊论文
| 作者 | 孙立宁 ; 陈涛 ; 邵兵 ; 李昕欣 |
| 刊名 | 光学精密工程
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 08 |
| 关键词 | 单粒子翻转 FPGA 重离子 辐射实验 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 中文摘要 | 为使夹持器小型集成化且夹持力可控,采用体硅加工技术研制了一种基于单晶硅的、具有微力检测功能的新型四臂式MEMS微夹持器。以压阻检测技术为基础,利用MEMS侧面压阻刻蚀工艺将力传感器集成在微夹持器的夹持臂末端,实现夹持力的微力检测。采用有限元软件分析,微夹持器机构和传感器弹性体,并通过S型柔性梁结构的设计将梳齿驱动的直线运动转化为夹持臂末段的转动,然后结合四臂式的末段结构,有效地扩展夹持器的夹持范围。利用硅玻璃键合技术实现夹持臂的电隔离,通过施加80V电压,夹持臂的单臂运动范围为25μm,夹持器的夹持范围为 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51992]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 孙立宁,陈涛,邵兵,等. 具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制[J]. 光学精密工程,2009(08). |
| APA | 孙立宁,陈涛,邵兵,&李昕欣.(2009).具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制.光学精密工程(08). |
| MLA | 孙立宁,et al."具有力感知功能的四臂式MEMS微夹持器研制".光学精密工程 .08(2009). |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。