基于体硅工艺的集成式定位平台
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王家畴 ; 荣伟彬 ; 李昕欣 ; 孙立宁 ; 马立 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 协同分集 放大转发 最大比合并 机会中继 矩生成函数 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 中文摘要 | 针对纳米定位平台的构型和定位精度问题,采用体硅加工技术成功地研制出了一种基于单晶硅并带有位移检测功能的新型二自由度微型定位平台,定位平台采用侧向平动静电梳齿驱动。利用力电耦合和能量守恒原理分析了静电致动器的致动机理,对定位平台的主要失效模型、静态和动态特性进行详细建模分析,证明了静电梳齿力电耦合所导致的侧壁不稳定以及驱动器的最大稳定输出位移,给出了平台稳定工作条件下梳齿间隙、梳齿初始交错长度以及复合柔性支撑梁的弹性刚度比之间的关系。动态分析时考虑空气阻尼对平台的影响,给出了平台最大运行速度、位移及动态条件 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/51994]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王家畴,荣伟彬,李昕欣,等. 基于体硅工艺的集成式定位平台[J]. 光学精密工程,2009(02). |
| APA | 王家畴,荣伟彬,李昕欣,孙立宁,&马立.(2009).基于体硅工艺的集成式定位平台.光学精密工程(02). |
| MLA | 王家畴,et al."基于体硅工艺的集成式定位平台".光学精密工程 .02(2009). |
入库方式： OAI收割
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