一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 毛健 ; 车录锋 ; 林友玲 ; 李玉芳 ; 周晓峰 ; 熊斌 ; 王跃林 |
| 刊名 | 固体电子学研究与进展
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 01 |
| 关键词 | 微机电系统 扫描微镜 约束扭转 单晶硅直梁 横向弯矩 扭转力矩 |
| ISSN号 | 1000-3819 |
| 中文摘要 | 提出了一种高对称电容式微加速度传感器,该传感器为硅四层键合三明治结构,在完成传感器整体结构制作的同时,实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法,既精确控制了加速度传感器的初始电容间距,又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz,品质因子为198,灵敏度为0.59V/g。 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52044]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 毛健,车录锋,林友玲,等. 一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器[J]. 固体电子学研究与进展,2009(01). |
| APA | 毛健.,车录锋.,林友玲.,李玉芳.,周晓峰.,...&王跃林.(2009).一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器.固体电子学研究与进展(01). |
| MLA | 毛健,et al."一种电容间隙精确可控的高对称加速度传感器".固体电子学研究与进展 .01(2009). |
入库方式： OAI收割
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