端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 穆参军 ; 张飞岭 ; 张宁 ; 赵本刚 ; 吴亚明 |
| 刊名 | 机械强度
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 02 |
| 关键词 | 高g加速度传感器 温敏效应 掺杂浓度 动态敏感特性 |
| ISSN号 | 1001-9669 |
| 中文摘要 | 结合微机电系统(micro-electronic-mechanical system,MEMS)扫描微镜结构以及单晶硅材料正交各向异性的特点,理论分析端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜的应力特性,得到器件工作时扭转梁上正确的应力分布及其特征,所得结论与有限元仿真结果进行比较。结果表明由于端部约束效应的影响,作用在MEMS扫描微镜上的驱动力矩分别通过纯扭转力矩和横向弯矩,在扭转梁上传递,导致在扭转梁产生正应力、附加剪切应力和扭转剪切应力,其中扭转剪切应力最大值位于扭转梁中部截面长边中点处,而正应力和附加剪切 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52084]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 穆参军,张飞岭,张宁,等. 端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究[J]. 机械强度,2009(02). |
| APA | 穆参军,张飞岭,张宁,赵本刚,&吴亚明.(2009).端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究.机械强度(02). |
| MLA | 穆参军,et al."端面约束单晶硅直梁MEMS扫描微镜应力特性研究".机械强度 .02(2009). |
入库方式： OAI收割
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