片上集成MEMS射频滤波器
文献类型：期刊论文
| 作者 | 吴争争 ; 顾磊 ; 李昕欣 |
| 刊名 | 仪表技术与传感器
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | S1 |
| 关键词 | 加速度传感器 压阻 碰撞 实用化 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 中文摘要 | 研究采用MEMS工艺技术制造可在硅集成电路片上集成的射频滤波器。MEMS工艺技术实现了高性能嵌入式螺管电感和金属-绝缘层-金属电容元件的集成制造。整个微加工制造工艺为低温工艺,可与CMOS集成电路工艺实现后端集成。基于此工艺,设计和实现了应用于5 GHz射频频段的微小化的片上集成滤波器,包括一种低通滤波器和一种带通滤波器。测试结果表明,5阶低通滤波器的-1.5 dB转折频率在5.3 GHz频率,从直流到5 GHz频率的插入损耗小于1.06 dB.实现的带通滤波器为两阶谐振耦合式,在中心频段5.3 GHz的 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52125]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴争争,顾磊,李昕欣. 片上集成MEMS射频滤波器[J]. 仪表技术与传感器,2009(S1). |
| APA | 吴争争,顾磊,&李昕欣.(2009).片上集成MEMS射频滤波器.仪表技术与传感器(S1). |
| MLA | 吴争争,et al."片上集成MEMS射频滤波器".仪表技术与传感器 .S1(2009). |
入库方式： OAI收割
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