多通道柔性神经微电极加工工艺
文献类型：期刊论文
| 作者 | 邢玉梅 ; 惠春 ; 徐爱兰 ; 李刚 ; 赵建龙 ; 任秋实 |
| 刊名 | 光学精密工程
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| 出版日期 | 2009 |
| 期号 | 10 |
| 关键词 | 锂离子电池 Li(NiuCovMn1-u-v)O2 原子混合占位 X射线衍射 |
| ISSN号 | 1004-924X |
| 中文摘要 | 针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺。采用一种新型的柔性聚合物材料——聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150μm(圆形)和150μm×150μm(方形),电极引线线宽为30μm。无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰。电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性。微电极加工质量较好,电学性 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2012-01-06 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/52186]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邢玉梅,惠春,徐爱兰,等. 多通道柔性神经微电极加工工艺[J]. 光学精密工程,2009(10). |
| APA | 邢玉梅,惠春,徐爱兰,李刚,赵建龙,&任秋实.(2009).多通道柔性神经微电极加工工艺.光学精密工程(10). |
| MLA | 邢玉梅,et al."多通道柔性神经微电极加工工艺".光学精密工程 .10(2009). |
入库方式： OAI收割
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